塗布〜乾燥〜露光のラインナップ
塗 布
自動ロールコータライン
(PCB/ 内層レジストインク塗布) (BGA/ SRレジストインク塗布)
| ラインスピード | 6枚/分 |
|---|---|
| 塗布精度 | 膜厚10μm±10% |
| クリーン度 | Class1000 |
| 寸 法 | 310×356〜610×610mm |
| 板 厚 | 0.1〜1.6mm |
| 用 途 | 内層塗布、液体レジスト塗布、BGA&Flip Chipソルダーレジスト塗布、有底ビアホール・貫通ホールの穴埋、Build-Up,HDI絶縁層塗布 |
主要製品
- 自動ロールコータライン
- 自動カーテンコータライン
- 自動静電スプレーコータライン
- ロールtoロールスリットコータ
- 自動ディップコータライン
乾 燥
プログラム制御オーブン
ボックスオーブン
| 使用温度範囲 | 室温+10℃〜200℃ |
|---|---|
| 制御方式 | 高精度PIDコントロール |
| 温度均一性 | プロセス温度±1.5%以内 |
プログラム制御オーブン
ボックスオーブン
主要製品
- ボックスオーブン
- 窒素オーブン
- UV乾燥機 UV洗浄機
- クリーンオーブン
- トンネル乾燥炉
- 自動ホットプレス乾燥炉
- 真空オーブン
- 遠赤外線乾燥炉
- ロールtoロールホットプレス
露 光
ロールtoロール自動アライメント露光装置
(フレキ基板向け装置)
| 用 途 | FPC/TAB/COF/FILM |
|---|---|
| 解像度 | 30μm×30μm以内 |
| 位置決め精度 | ±10μm以内 |
- 5kw、8kw、10kwのランプ出力選択可能
- 露光タイプは、真空とプロキシミテイが選択可能
- 低張力制御
主要製品
- 手動露光機
- ロールtoロール自動露光機
- 平行光露光機
- ロールtoロールラミネーター
- CCD自動アライメント露光機
ハイスペック全自動真空プレス
- 段数および有効寸法はカスタマイズ可
- 主要部品は日本・ドイツ製を採用
- 加工から品質管理まで全て自社内
HDI基板/パッケージ基板向け
| プレス出力(1UP/8段) | 60ton〜600ton |
|---|---|
| 有効寸法 | 1145×1296mm |
| 最高使用温度 | 250℃ |
| 加熱方式 | サーモオイル循環(ヒーター加熱) |
| 到達真空度 | 10torr(Max) |
| 圧力精度 | ±1kg/㎠ |
| 温度精度 | ±1.5℃(at180℃) |
CCL銅張基板向け
| プレス出力(2UP/36段) | 200ton〜2,000ton |
|---|---|
| 有効寸法 | 1260×2210mm |
| 最高使用温度 | 230℃ |
| 加熱方式 | サーモオイル循環加熱 |
| 到達真空度 | 10torr(Max) |
